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Evactron 25 Zephyr Plasma Decontaminator，產(chǎn)品型號：91000-10。 Evactron ® Zephyr 凈化器系列專為 SEM、FIB 和其他使用渦輪分子泵的真空室而設(shè)計。它們專為 SEM/FIB 系統(tǒng)而設(shè)計，可快速高效地去除碳?xì)浠衔?，而不會損壞樣品或敏感組件。

Evactron EP Plasma Decontaminator + Android For Hitachi，產(chǎn)品型號：91000-11。 遠(yuǎn)程射頻等離子清潔器通過分解碳并將其轉(zhuǎn)化為氣相，然后由泵送系統(tǒng)去除，從而減少高真空室中的碳?xì)浠衔镂廴尽?/p>

Evactron E50 Plasma Decontaminator-Hitachi/JEOL，產(chǎn)品型號：91000-01。 采用系留觸摸板而非無線觸摸板。除了每個型號的常規(guī)過濾器外，它還有一個可選的超級備用氣源過濾器。

K850 Critical Point Dryer，產(chǎn)品型號：91090。 頂部填充和底部排放的立式室 正常工作溫度 35°C 壓力 1500 psi 熱電珀耳帖制冷和加熱 精控針閥泄壓 帶側(cè)視口和“Lexan”防護罩的照明室 用于增強溶劑交換的攪拌器系統(tǒng) 帶熱切斷保護的溫度監(jiān)測和控制 帶泄壓閥和爆破片保護的壓力監(jiān)測 聚碳酸酯安全防護罩

Large Chamber Critical Point Dryer，產(chǎn)品型號：91090-WM 170 mm 直徑腔室 - 針對晶圓/MEMS 干燥進行了優(yōu)化 帶頂部裝載和底部排水的垂直室 - 確保樣品在干燥過程中不會暴露 熱電加熱——精確控溫 精細(xì)控制針閥壓力下降——精確控制 帶熱切斷保護的溫度監(jiān)測和控制 帶安全斷路裝置的壓力監(jiān)測，用于過壓 三年質(zhì)保

E4800 Recirculating Heater/Chillers，產(chǎn)品型號：E4860 精確的溫度控制 安靜、高效的運行 久經(jīng)考驗的可靠性 低維護 環(huán)?！苊庾詠硭速M

Critical Point Dryer，產(chǎn)品型號：E3100 如果需要增加腔室體積，無論是尺寸還是數(shù)量，都可以干燥，大容量型號 E3100 可用。腔室尺寸為 63.5 毫米內(nèi)徑 x 82 毫米長，大約是 E3000 體積的三倍。轉(zhuǎn)運船還將接受三倍數(shù)量的標(biāo)本籃。

Turbo-Pumped Sputter Coater/Carbon Coater，產(chǎn)品型號：Q150GB. Q150 GB 是非常成功的 Q150T ES Plus 臺式渦輪分子泵涂層系統(tǒng)的模塊化手套箱版本——適用于 SEM、TEM 和許多薄膜應(yīng)用。Q150 GB 標(biāo)配有濺射和碳棒蒸發(fā)插件以及旋轉(zhuǎn)樣品臺。選項包括金屬蒸發(fā)、輝光放電、薄膜厚度測量和適合各種樣品類型的特殊載物臺。